Bookcover of Плазменные источники ионов с полым катодом
Booktitle:

Плазменные источники ионов с полым катодом

совершенствование и применение в технологиях микроэлектроники

LAP LAMBERT Academic Publishing (2012-11-06 )

Books loader

Omni badge eligible for voucher
ISBN-13:

978-3-659-29592-8

ISBN-10:
3659295922
EAN:
9783659295928
Book language:
Russian
Blurb/Shorttext:
Настоящая работа посвящена новым аспектам научного исследования, модернизации и применения источников ионов на основе газового разряда с полым катодом. Несмотря на то, что источники данного типа обладают рядом бесспорных достоинств, об их успешном применении в современных технологиях микроэлектроники известно крайне мало. В связи с этим, автор изучает работу источников на химически активных газах, в число которых входят органические соединения для «набирающей ход» углеродной (органической) электроники и детально описывает процессы создания новых технологических источников с улучшенными техническими характеристиками. Помимо этого, в число представленных в книге разработок входят источники с большой площадью поперечного сечения пучка частиц, востребованные промышленными производственными установками. Автор приводит результаты разработки и анализа основ технологий синтеза различных модификаций тонких пленок углерода, а также очистки подложек микроплат непосредственно с помощью пучков ионов.
Publishing house:
LAP LAMBERT Academic Publishing
Website:
http://www.lap-publishing.com/
By (author) :
Евгений Шевченко
Number of pages:
160
Published on:
2012-11-06
Stock:
Available
Category:
Electronics, electro-technology, communications technology
Price:
5473.32 руб
Keywords:
Плазма газового разряда, источники ионов, электронов, осаждение пленок, очистка подложек, тенологии микро- и наноэлектроники

Books loader

Newsletter

Wire Transfer

  0 products in the shopping cart
Edit cart
Loading frontend
LOADING